Разработка алмазного инструмента для обработки карбида кремния

Раздел находится в стадии актуализации

Карбид кремния SiC применяется в силовой, высокочастотной и радиационно стойкой электронике при изготовлении, например, высокоточных оптических элементов в астрофизических зеркалах и телескопах, а также отдельных механических деталей и узлов с повышенной прочностью и износостойкостью. Высокоточная обработка SiC требует большого расхода абразивного инструмента, как правило алмазного, и существенно затруднена. В работе представлены результаты разработки алмазного инструмента (Thermostable Tool, TT) для обработки SiC. Для повышения эффективности алмазного инструмента на органической связке в качестве связующего использован теплопроводный полимерный композит с теплопроводностью 5–10 Вт/мК и мелкодисперсный углерод для улучшения условий теплоотвода из зоны контакта инструмента с обрабатываемым материалом. Изготовлен и исследован инструмент с применением алмазных порошков зернистостью 200–2 мкм. Полученные результаты испытаний показали, что разработанный алмазный инструмент со связкой ТТ (зернистостью 100–10 мкм) и модифицированной связкой ТТ5М (зернистостью 5 мкм) на операциях предварительного грубого и финишного шлифования превосходит свободный абразив в виде алмазных суспензий и паст, а также известные типы традиционного связанного алмазного инструмента как по скорости съема материала, так и по качеству обработки. Установлено, что инструмент обеспечивает наименьшую глубину нарушенного трещиноватого слоя и снижение шероховатости обработанной поверхности. Это позволяет на операции финишного шлифования сократить время последующего полирования до минимума. Связанный алмазный инструмент на органической связке ТТ может быть эффективно использован в полном цикле обработки SiC для массового производства изделий.
Кондратенко Владимир Степанович
МИРЭА – Российский технологический университет, Россия, 107076, г. Москва, ул. Стромынка, 20
Исаев Антон Алексеевич
МИРЭА – Российский технологический университет, Россия, 107076, г. Москва, ул. Стромынка, 20
Кадомкин Виктор Викторович
МИРЭА – Российский технологический университет, Россия, 107076, г. Москва, ул. Стромынка, 20
Бирюков Григорий Михайлович
МИРЭА – Российский технологический университет, Россия, 107076, г. Москва, ул. Стромынка, 20

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru